Aurion Anlagentechnik GmbH
- Valmistaja
- Saksa
- Website
- Vastaa ilmoitukseen
- Puhelin
Aurion Anlagentechnik GmbH
- Valmistaja
- Saksa
- Website
- Vastaa ilmoitukseen
- Puhelin
- DIN EN ISO 9001:2015
Aurion Anlagentechnik GmbH
- Valmistaja
- Saksa
- Website
- Vastaa ilmoitukseen
- Puhelin
- DIN EN ISO 9001:2015
01.10.2025 10:40
Klusteri- ja inline-järjestelmät
Cluster Systems
AURION tarjoaa monikammiojärjestelmiä, joissa substraatin käsittely tyhjiössä on räätälöity tarpeidesi mukaan. Saatavilla oleviin kokoonpanoihin kuuluvat kuormalukkokammiot, siirtokammiot ja prosessimoduulit sputterointi- ja RIE-prosesseja varten.
Inline-järjestelmät
AURION tarjoaa inline-järjestelmiä (pass-by-järjestelmiä), joissa substraatin kuljetus tyhjiössä tapahtuu tarpeidesi mukaan. Saatavilla oleviin kokoonpanoihin kuuluvat load lock -kammiot, esikäsittelykammiot ja sputterointikammiot. Saatavilla on pysty- ja vaakasuuntaisia kokoonpanoja.
Kategoria
Tarjous
Valtio
Saksa